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加热器位置对多晶硅定向凝固热场的影响有哪些?

  定向凝固技术是多晶硅锭最主要的生产方法。对定向凝固炉的热场进行优化是非常有必要的,因为热场在很大程度上决定了多晶硅锭的质量。加热器为整个定向凝固炉热场系统提供热源, 是控制热场最重要的因素。随着硅锭的尺寸不断加大,为了更好地控制热场,采用多个加热器的凝固炉得到广泛应用。在具有多个加热器的铸锭炉中,加热器的位置和功率分布都会影响炉内的热场、流场以及固液界面形态。因此,为了得到尺寸更大,质量更好的硅锭,研究加热器位置对炉内热场的影响是有必要的。对多晶硅铸锭炉加热器已经有人做了一些研究。Li Zaoyang 等用数值模拟的方法分析了铸锭炉顶部和侧部加热器不同功率分配对硅料熔化、结晶过程以及退火的影响。
 


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